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无尘车 间净化室洁净度分级
2017-12-05 21:46:24   来源:   评论:0 点击:

半导体 工业是极精密的工业,当我们 把计算机拆开之后,在电路 板上一颗颗小小的IC都有数 百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让 这些极小的晶体管
半导体 工业是极精密的工业,当我们 把计算机拆开之后,在电路 板上一颗颗小小的IC都有数 百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让 这些极小的晶体管妥善的工作,制造的 过程必须在无尘室内进行,集成电 路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资,多因为 需要一个无尘室。

所谓的 无尘室是一个人造的环境,里面含 有的粒子远低于一般的环境,随着集 成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求,在工业 上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能 阻碍产品的运作或降低其寿命。

由于奈米技术的兴起,造成半 导体关键尺寸持续缩小,集成电 路积集度不断的增加,尘粒更 容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当 金属尘粒地落到金属导线时,就可能 会使金属导线形成短路。又如果 有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无 尘室为集成电路制造不可或缺的要素。

依据美 国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无 尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假 设尘粒的尺寸为0.5?m,例如,1级、10级、100级无尘 室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0.5?m,无尘室 等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2?m(尘粒尺寸在0.2?m或更大下,密度不大于75颗/立方英?),1级在0.1?m(尘粒尺寸在0.1?m或更大下,密度不大于35颗/立方英)。而集成 电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

为保持 无尘室的洁净度,进出的 人员有一定的穿著规定;10000与100000级,必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩;1000级(含)以上,需穿著 特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住,并带上手套和面罩,下表为 无尘室清洁度的

无尘室 洁净度分级定义:
尘粒数/立方英 
级数 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm 
 1 35 7.5 3 1 N/A 
 10 350 75 30 10 N/A 
 100 N/A 750 300 100 N/A 
 1000 N/A N/A N/A 1000 7 
 10000 N/A N/A N/A 10000 70 
 100000 N/A N/A N/A 100000 700

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