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无尘室 净化车间的微粒子浓度如何控制
2017-12-05 22:46:41   来源:   评论:0 点击:

无尘室 净化车间的微粒子浓度如何控制无尘室 的浮游微粒子浓度,若用高 性能的送风系统即可达到零水平,然而实 际的生产现场由于作业者、机器、
无尘室 净化车间的微粒子浓度如何控制
无尘室 的浮游微粒子浓度,若用高 性能的送风系统即可达到零水平,然而实 际的生产现场由于作业者、机器、周边机 械的发尘及基板运送时

所接触 的零件材料的发尘等,在制造 品周边扬起了少许的微粒子,故造成 了元件清洁面的粒子污染。

    无尘室 内如何控制微粒子浓度呢?

1.0、不携入 :人、机、料进无 尘室不携入微粒子

      1)进入无 尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生 静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等,

         再通过风淋室吹淋,高速干 净的气流可除去附在衣服表面的粒子,吹淋完 毕才能进入无尘室。

      2)机器、材料进无尘室前,应尽可 能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭,

         经货淋 室吹淋或风淋传递窗吹淋后才能进入无尘室。

      3)无尘室 中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。  

2.0、不发生 :无尘室 内动态环境下机、料的不发生控制;

         在控制最大污染源--人在无 尘室内的微粒子发尘量的同时,也应控 制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时,所产生    
         的摩擦 及接触剥离会造成发尘,而物品 在移动时也会有微粒子的发生。故为了 控制发尘量达到最小限度应采取以下对策:

      1)减少接 触剥离发尘的动作形态;

      2)采用磨 耗发尘小的材质;

      3)采用发尘小的润滑油;

3.0、不储备:

     现实中 人和物品的频繁出入及机台的掣动(动态),无尘室 要想达到动态洁净级别,因此“不储备”技术快速地在过滤器

     中应用 以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已 发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及
     
     不稳定 的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起,增加了 重大微粒子污染的危险性。 

     控制气 流可防止微粒子累积,但对于 带电表面的微粒累积就无法防止。为了防 止由静电吸附而引起的微粒附着,通常在 无尘室内会使用
     
     带电程 度在数十伏以下的导电性材料。而对于 制造品本身的带电,则采用 带电程度很少的搬送形态及接触部品材料,并藉由除电装置进     
     行除电。 
4.0、排除/除去

    在无法 避免大量微粒子发生的机台中,为了不 让无尘室内产生微粒子,因此直 接做对外排气的动作,即所谓的局部排气。针对排气的对策
    如下:由于导 入同量的外气是必要的,但会伴 随大量的能源消耗。所以无 法说是绝对理想的对策。因此尽 可能地在压缩排气量的同时,不仅仅 是向无尘室外排气,而应采 用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。


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