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春意塑 料中央空调净化车间装修

净化车间气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化。
温湿度 主要是根据工艺要求来确定,但在满 足工艺要求的条件下,应考虑 到人的舒适度感。随着空 气洁净度要求的提高,出现了 工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工 艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加 工精度越来越精细,所以对 温度波动范围的要求越来越小。例如在 大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩 膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要 求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是 怕钠的半导体车间,这种车 间温度不宜超过25度,湿度过 高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发 生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太 高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于 静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大 量半导体器件容易发生击穿。对于硅 片生产最佳湿度范围为35-45%。
净化室 噪声标准一般均严于保护健康的标准,目的在 于保障操作正常进行,满足必 要的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡 量洁净室的噪声主要指标是:
1.烦恼的效应
由于噪声,使人感 到不安宁而产生烦恼情绪,一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹,比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应 水平属于很吵闹和极吵闹者,即为高烦恼,高烦恼 人数在总人数中的百分比即为高烦恼率。
2.对工作效率的影响
这主要 看三方面的反应水平,这三个方面是:集中精神,动作准确性,工作速度;
3.对综合通讯的干扰
这主要分为:清楚或满意,稍困难,困难,不可能对以上 三方面指标都用A声级来评价。在50年代曾 提出用一条频谱曲线作为评价标准即各频带中心频率的声压级不得超过该曲线。后来了解到刷A等级来 计量噪声与噪声的语音干扰和烦恼程度更为台适,可以代 替倍频带声压级作为评价标准的指标。
向有很高的要求。这里有 必要先说明一下无窗洁净室的照明方式:
(1)一般照明
它指不 考虑特殊的局部需要,为照亮 整个被照面积而设置的照明。
(2)局部照明
这是指 为增加某一指定地点(如工作点)的照度而设置的照明。但在室 内照明由一般不单独使用局部照明。
(3)混合照明
这是指 工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一 般照明的照度按《洁净厂房设计规范》应占总照度的10%-15%,但不低干150LX。 单位被 照面积上接受的光通量即是照明单位勒克斯(LX)。
国外洁 净室的强度要求极高,例如美 国关于洁净室的几个标准的要求是.
人工光300lx有较好的效果,当工件 精细程度更高时,500x也是允许的。对于要 红灯照明的地方,如电子 行业的光刻车间,其照度一般为(25-501x),
用天然 光时可允许更高的照度,因而对工作是有利的,所以今 后洁净室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,这也是 为了节能而出现的一种动向。

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